Les M.E.M.S et leurs applications
publié dans Elektor n° 363, septembre 2008
L’évolution des systèmes électroniques embarqués nécessitant une miniaturisation poussée des actionneurs et des capteurs (nécessaires pour le déclenchement des airbags dans les automobiles, ou le contrôle de la trajectoire des avions et des missiles), les grands fabricants de composants électroniques ont réussi l’incroyable prouesse technique d’intégrer sur des puces de silicium des systèmes associant des fonctions électroniques (Circuits de mise en forme, amplificateurs…) et des organes mécaniques dont la taille ne dépasse pas quelques centaines de microns.
Ce sont ce que l’on a appelé les M.E.M.S : Micro Electro Mechanicals Systems, ce qui peut se traduire en Français par Micro-Systèmes Électromécaniques.
Apparus au début des années soixante dix, les M.E.M.S appartiennent à un domaine de recherche récent en plein développement et ont avantageusement remplacé des systèmes difficiles à miniaturiser avec des procédés classiques de fabrication.
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